型號

PR200

PR300

PR301

模式

DP模式，桶型

控制部

高頻輸出

Max300W

頻率

13.56MHz

同調方式

手動2軸同調方式

反應部

反應腔

耐熱玻璃 Φ100×160mm

超硬質玻璃 Φ64×160mm×3室

耐熱玻璃 Φ118×160mm

反應氣體

1系統(tǒng)（氧氣）流量計

控制

手動密閉閥

自動減壓、自動密閉閥

配管材質

不銹鋼、特氟龍、銅、銅合金

不銹鋼、特氟龍

外形尺寸

W350×D400×H500mm

W438×D520×H556mm

W438×D520×H630mm

重量

約10kg

約36kg

約34kg

電源

AC100V 15A

AC100V 7A