




| 型號 | PDC610 |
| 等離子模式 | RIE/DP(固定模式) |
| 電極構(gòu)造 | 3段獨立平行平板(固定) |
| 高頻輸出 | Max600W |
| 頻率 | 13.56MHz |
| 控制·顯示方式 | PLC·觸摸屏 |
| 反應(yīng)腔尺寸 | W350×D270×H300mm |
| 反應(yīng)腔材質(zhì) | A5052 |
| 反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)(Ar、O2) |
| 填充氣體 | N2或干燥空氣 |
| 真空泵 | 油泵(約345L/分)·標(biāo)配 |
| 外形尺寸 | W600×D722×H700mm |
| 外裝材質(zhì) | 不銹鋼 |
| 電源 | 3相 AC200 50/60Hz 15A |
微信掃碼 關(guān)注我們
地址:上海市浦東新區(qū)曹路鎮(zhèn)金海路2588號 備案號:滬ICP備19046444號-1