PDC200/210/510等離子清洗機(jī)
高頻輸出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）,電極尺寸 250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）適用于研究開(kāi)發(fā)的小型等離子清洗機(jī)。
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡(jiǎn)單”的臺(tái)式高性能型號(hào)，調(diào)取數(shù)據(jù)簡(jiǎn)單，以電子材料為中心，可對(duì)應(yīng)多種用途。
用途
?CSP、BGA、COB基板的等離子清洗
?去除有機(jī)膜和金屬氧化膜
?印刷電路基板的干式清洗
?界面活性處理
?LED封裝
特征
?DP模式（PDC510標(biāo)配·PDC200/210選配）
?RIE模式
?均勻性高的電極構(gòu)造
?操作簡(jiǎn)單的觸摸屏控制器
規(guī)格
|
型號(hào) |
PDC200 |
PDC210 |
PDC510 |
|
等離子模式 |
RIE（DP模式選配） |
RIE/DP |
|
|
電極構(gòu)造 |
平行平板（固定） |
||
|
高頻輸出 |
Max300W |
Max500W |
|
|
頻率 |
13.56MHz |
||
|
控制·顯示 |
液晶觸摸屏 |
||
|
反應(yīng)室尺寸 |
W400×D250×H150mm |
W500×D300×H200mm |
|
|
電極尺寸 |
W250×D170mm |
W400×D200mm |
|
|
反應(yīng)室材質(zhì) |
鋁 |
||
|
反應(yīng)氣體 |
2系統(tǒng)（Ar、O2） |
||
|
填充氣體 |
N2或干燥空氣 |
||
|
反應(yīng)氣體流量控制 |
流量計(jì) |
聚合控制器 |
|
|
真空泵 |
另行選配 |
油泵（約345L/分）標(biāo)配 |
油泵（約500L/分）標(biāo)配 |
|
氣體導(dǎo)入口 |
反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè) |
||
|
外形尺寸 |
W540×D600×H600mm |
W540×D600×H600mm |
W700×D700×H1285mm |
|
重量 |
約100kg |
約105kg |
約180kg |
|
電源 |
單相 AC100V 10A |
三相AC200V 6A |
三相AC200V 8A |
微信掃碼 關(guān)注我們
地址：上海市浦東新區(qū)曹路鎮(zhèn)金海路2588號(hào) 備案號(hào)：滬ICP備19046444號(hào)-1
